High Sensitivity and High Aspect-Ratio In-Plane Optical Accelerometer by Silicon Electrochemical Micromachining / S. Surdo; L. M. Strambini; M. Bassu; D. Camboni; G. Barillaro. - (2013). ((Intervento presentato al convegno 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology tenutosi a Berlin, Germany nel 21 – 24 April, 2013.
Titolo: | High Sensitivity and High Aspect-Ratio In-Plane Optical Accelerometer by Silicon Electrochemical Micromachining |
Autori interni: | |
Anno del prodotto: | 2013 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11568/251738 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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