Silicon micromachined periodic structures: from photonic to optofluidic applications / G. Barillaro; A. Diligenti; L. M. Strambini; S. Surdo; V. Annovazzi-Lodi; M. Benedetti; F. Carpignano; S. Merlo. - (2010). ((Intervento presentato al convegno 11th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems & MEMS in Italy tenutosi a Otranto - Italy nel 28 June - 1 July.
Titolo: | Silicon micromachined periodic structures: from photonic to optofluidic applications |
Autori interni: | |
Anno del prodotto: | 2010 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11568/538913 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.