An array of micromirrors for beam steering optical switching has been designed in a thick polysilicon technology. A novel semi-analytical method to calculate the static characteristics of the micromirrors by taking into account the flexural deformation of the structure is presented. The results are compared with 3D coupled-field FEM simulation.
Autori interni: | |
Autori: | Molfese A; Nannini A; Pieri F |
Titolo: | Reduced-order modelling of the bending of an array of torsional micromirrors |
Anno del prodotto: | 2007 |
Digital Object Identifier (DOI): | 10.1007/s10470-006-9016-6 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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