Room-Temperature Silicon Platform for GHz-Frequency Nanoelectro-Opto-Mechanical Systems

A. Pitanti;
2022-01-01

2022
Navarro-Urrios, D.; Colombano, M. F.; Arregui, G.; Madiot, G.; Pitanti, A.; Griol, A.; Makkonen, T.; Ahopelto, J.; Sotomayor-Torres, C. M.; Martínez, A.
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