Il dispositivo acustico ha un elemento trasduttore acustico (15) microlavorato; un regione acusticamente attenuante (40); e una regione di adattamento acustico (32) disposta fra l'elemento trasduttore acustico (15) e la regione acusticamente attenuante (40). L'elemento trasduttore acustico (15) è formato in un primo substrato (25) alloggiante una cavità (19) delimitate una membrana (16). Un secondo substrato (30) di materiale semiconduttore integrante un circuito elettronico è disposto fra l'elemento trasduttore acustico (15) e la regione acusticamente attenuante (40). La regione di adattamento acustico (32) presenta una prima interfaccia (32A) con il secondo substrato (30) ed una seconda interfaccia (32B) con la regione acusticamente attenuante (40). La regione di adattamento acustico (32) presenta impedenza adattata all'impedenza del secondo substrato (30) in prossimità della prima interfaccia (32A), e impedenza adattata alla regione acusticamente attenuante (40) in prossimità della seconda interfaccia (32B).
INTEGRATED ACOUSTIC TRANSDUCER WITH REDUCED PROPAGATION OF UNDESIRED ACOUSTIC WAVES
BARILLARO, GIUSEPPE
2016-01-01
Abstract
Il dispositivo acustico ha un elemento trasduttore acustico (15) microlavorato; un regione acusticamente attenuante (40); e una regione di adattamento acustico (32) disposta fra l'elemento trasduttore acustico (15) e la regione acusticamente attenuante (40). L'elemento trasduttore acustico (15) è formato in un primo substrato (25) alloggiante una cavità (19) delimitate una membrana (16). Un secondo substrato (30) di materiale semiconduttore integrante un circuito elettronico è disposto fra l'elemento trasduttore acustico (15) e la regione acusticamente attenuante (40). La regione di adattamento acustico (32) presenta una prima interfaccia (32A) con il secondo substrato (30) ed una seconda interfaccia (32B) con la regione acusticamente attenuante (40). La regione di adattamento acustico (32) presenta impedenza adattata all'impedenza del secondo substrato (30) in prossimità della prima interfaccia (32A), e impedenza adattata alla regione acusticamente attenuante (40) in prossimità della seconda interfaccia (32B).I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
